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臺式勻膠機/旋涂儀

產(chǎn)品簡介

臺式勻膠機/旋涂儀用途
勻膠機適用于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO 導(dǎo)電玻的 半導(dǎo)體工藝、制版、及表面涂覆等工藝,該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速,并能半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。

產(chǎn)品型號:DP-01
更新時間:2024-04-25
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:525

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產(chǎn)品分類
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010-51298264

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品牌YODP/亞歐德鵬產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,食品,化工,農(nóng)業(yè),綜合

臺式勻膠機/旋涂儀 DP-01

臺式勻膠機/旋涂儀用途

勻膠機適用于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO 導(dǎo)電玻的 半導(dǎo)體工藝、制版、及表面涂覆等工藝,該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速,并能半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。 勻膠機具有快速啟動、快速切換轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)速穩(wěn)定的性能,能夠膠膜厚度的一致性和均勻性。采用觸摸屏控制,實現(xiàn)啟/??煽兀D(zhuǎn)速實時觀察、三檔 轉(zhuǎn)速可來回切換等功能,啟動后在低速下進行勻膠,再切換至高速下進行甩膠, 轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào); 儀器配置了“安全開關(guān)"按鈕,儀器運轉(zhuǎn)時,上蓋處于關(guān)閉狀態(tài),一旦上蓋 打開,將觸發(fā)“安全開關(guān)",儀器停止運轉(zhuǎn),起到保護作用。

 

技術(shù)參數(shù) 

轉(zhuǎn)速:硅片 4 英寸(含)以內(nèi) 300-8500RPM;4 英寸以上 300-6000RPM 

時間控制:1-32767s 

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:±1% 

膠的均勻性:±3% 

參數(shù)設(shè)定:觸摸屏設(shè)置參數(shù) 

適用于φ28 至φ200mm 硅片及其它材料等勻膠 

電源輸入:AC220V±10V,50HZ 

功率:60W 

重量:13kg 

外形尺寸:300(W)*227(H)*350(D) 

工作環(huán)境:溫度 0℃-40 ℃,相對濕度<80 %

 


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