四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標準并參考美A.S.T.M 標準而的,于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。該儀器采用了電子行、裝配。具有能選擇直觀、測量取數快、度、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結構緊湊、易操作等特點。如有需要可加配測試臺使用。
適用范圍:
1、覆蓋膜;導電分子膜,、低溫電熱膜;隔熱、防輻射導電窗膜 導電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標簽、合金類箔膜;熔煉、燒結、濺射、涂覆、涂布層,電阻式、電容式觸屏薄膜;電涂料,其他半導體材料、薄膜材料方阻測試。
2、硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻 半導體材料/晶圓、太陽能電池、電子元器件,導電薄膜(ITO導電膜玻璃等),金屬膜,導電漆膜,蒸發(fā)鋁膜,PCB銅箔膜。
3、EMI涂層等物質的薄層電阻與電阻率 導電性油漆,導電性糊狀物,導電性塑料,導電性橡膠,導電性薄膜,金屬薄膜。
4、抗靜電材料, EMI 防護材料,導電性纖維,導電性陶瓷等。
1、四探針單電測量方法;
2、液晶顯示,自動測量,自動量程,自動系數補償;
3、集成電路系統(tǒng)、恒流輸出;
4、選配:PC軟件行數據管理和處理;
5、提供中文或英文兩種語言操作界面選擇。
設備特點:
1、可以測量溫、真空、氣氛下薄膜方塊電阻和薄層電阻率;
2、軟件、觸摸屏、溫爐等集成于體,可以行可視化操作;
3、可實現純凈氣氛條件下的測量;同時保證探針在溫下不氧化;
4、采用labview軟件開發(fā),操控性、兼容性好、方便升級;
5、可自動調節(jié)樣品測試電壓,探針和薄膜接觸閃絡現象;
6、控溫和測溫采用同個傳感器,保證樣品每次采集的溫度都是樣品實際溫度;
7、可配套使用Keithley2400或2600數字多用表。